鮪魚 asked in 科學化學 · 10 years ago

什麼是 薄膜製程

我是今年第一階段個人申請上 屏教大 先進薄膜製程學士學位學程 以下有些問題:

1.什麼是薄膜?

2.薄膜的功用

3.他的製程

不要屏教網頁資料 謝謝

2 Answers

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  • 10 years ago
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    1. 薄膜: thin film 就是很薄的一層膜, 一般都在幾千埃(anstrom)以內

    1 埃(anstrom) = 一億分之一釐米

    2. 薄膜的功用: 在半導體製程及TFT製程需要導電層及介電層或絕緣層, 這時候就需要用到金屬薄膜(如銅 鋁 鉬 鈦等金屬), 或非金屬薄膜(如 SiO2 SiNx 等).

    3. 薄膜製程:

    金屬類薄膜: 以PVD製程為主, 如濺鍍(sputter), 蒸鍍(evaporation)

    非金屬薄膜: CVD (chemical vapor deposition), PECVD(plasma enhanced chemical vapor deposition)

    PS: thin film 是很專業的一門學問, 很難簡短的回覆, 但thin film 在高科技產業扮演著非常重要的角色, 不管是半導體或TFT廠都有一個獨立的thin film 部門

    2011-04-14 15:28:50 補充:

    在高科技業的眼中, 0.012~0.025 mm都算是厚膜,不算薄膜, 半導體, 面板, 甚至是太陽能電池, 很少會鍍膜超過數千A(anstrom)以上, 這是在高科技產業對薄膜厚度的定義, 0.012mm確實以人的眼睛來看已經很薄了, 但對積體電路來看卻是不可思議的厚, 用途不同定義就不同, 大學的薄膜製程基本上是依科技產業來定義

  • 10 years ago

    薄膜? 幾千埃 ? 有沒有搞錯

    我搞薄膜搞了三十年了 難道逆滲透膜 不算薄膜?

    逆滲透膜 厚度是0..12mm -0.025mm 還要算到埃去

    太扯了 太扯了

    知之為知之 不知為不知 是知也

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