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電漿 plasma

請問一下

使用13.56MHz功率來產生電漿

請問 瓦數 跟Vpp 有什麼關聯呢?

此外 Vdc代表甚意思?

暗區又是什麼呢??

為什麼會有

RF Forward Power

RF Reflect Power.

RF批配(Match) 是要幹麼的??

謝謝

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  • 1 decade ago
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    請問 瓦數 跟Vpp 有什麼關聯呢?

    Ans: RF Power = V * I * Cos(相位差)

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    此外 Vdc代表甚意思?

    Ans: 電漿中的電子移動速度比離子快, 因此在極板上會累積較多的電子, 形成負偏壓 (bias), 此即為Vdc

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    暗區又是什麼呢??

    Ans: 電漿的輝光乃是因為氣體分子遭游離電子撞擊後, 氣體分子的電子吸收此撞擊能量後, 提升到較不穩定的能階, 而後再由此能階回到原來穩定的能階, 並釋放出光子而產生, 因此當游離電子的撞擊能量不足以提升氣體分子的電子能階時, 即無法產生輝光, 此即為暗區

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    為什麼會有 RF Forward Power ? RF Reflect Power.

    Ans: RF Forward Power 指的是從 RF Generator 輸出的 Power, 此 Power 會經 RF connector, RF cable, Match box, 再到負載, 為了讓 Power 能儘量傳遞到負載端, 就需讓 RF 路徑上所有元件的阻抗與 RF Generator 都一樣 (一般為50歐姆), 一旦有元件的阻抗與 RF Generator 的不一樣 (不匹配), 即會產生反射波, 此即為 RF Reflected Power

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    RF批配(Match) 是要幹麼的??

    Ans: 如上所述為了讓 RF Power 能儘量傳遞到負載端, 就需讓 RF 路徑上所有元件的阻抗與 RF Generator 都一樣 (一般為50歐姆), 可是負載本身并不是標準的50歐姆, 而是會隨著電漿的狀況而改變, 因此就需要 Match Box 來調配使負載加上Match Box 的綜合阻抗為50歐姆, 如此才能讓 RF Generator 輸出的 Power 能順利的傳遞到負載端

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