小男 asked in 科學工程學 · 1 decade ago

無塵室量測微粒(Particle)收集口高度

無塵室量測微粒收集口高度,是否有國際規範的高度,高度的定義是如何訂出來的?

1 Answer

Rating
  • 1 decade ago
    Favorite Answer

    無塵室之定義與測試業界常用的規範有三種,分別是美國聯邦標準Fed-Std-209E,美國環境科學學會無塵室測試規範 IES-RP-CCO06.2,及美國國家環境平衡局(National Environmental Balancing Bureau, NEBB)之無塵室認證程序規範Procedural Standards for Certified Testing of Clean rooms。

    測試時機:

    As-built:已完工無塵室,但尚無人員與機械進入。

    At-rest:已完工無塵室,機械已移入且可以操作或已在運轉,但尚無人員進入。

    Operational:已正常運轉之無塵室。

    潔淨度測試使用微粒計數器(particle counter)。

    微粒計數器有不同規格,最常見的是流量1cfm,最小粒徑可測到0.3mm或是0.1mm,單位多是立方英呎。

    測試高度:約1m處或由業主指定。 一般而言,業主規定值都會比潔靜度等級定義少一些。在As-built測試時,規定值常常定為等級定義的10﹪,At-rest測試時,規定值常常定為等級定義的15﹪。這樣做的目的是確保在Operating 狀態,潔靜度可以為持在等級定義以下。

    2009-11-05 13:12:04 補充:

    資料部份摘錄於fansi網站&均衡科技有限公司

Still have questions? Get your answers by asking now.