? asked in 科學工程學 · 1 decade ago

真空chamber浸水了...

我們實驗室的RF 磁控濺鍍chamber一個月前進水了...

目前仍然沒有上它能抽到10-3...

很糟糕...

請問chamber內如果有些固體的殘骸(內部很複雜 不容易進去擦拭)會影響真空度嗎??

我有將漏水的砝蘭從新更換過o-ring,但是也沒有什麼效果

抽真空同時有噴甲醇測試

真空也沒有掉下來的跡象

pump oil 也更換過了 (有測試pump端可以在三分鐘內抽到1*10-3以下),只是接到chamber就不行了

哪位大大能救救我呀.....(苦惱中`)

Update:

正在努力試看看...

目前 抽氣速率 已經可以到達 9.~*10-3 torr/35分鐘

比之前好許多了(怎麼抽都只有到3.~*10-2 torr)

雖然有好一點了

但是仍然有個落差= ="

重點來了...

我把連接pump - chamber的手動閥關起來壓力上升了= =

呵... 還是只能冷笑...

4 Answers

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  • 1 decade ago
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    建議處理方法

    1.確認你的真空設備淹水到何種程度,包含高真空幫浦,低真空幫浦的種類,以及是否有進水.如果是擴散幫浦進水可以將幫浦拆下,將擴散幫浦內部清潔乾淨,更換新的擴散油品(保養),再裝回就可.如是cryo pump,turbo pump請送回廠商做保養處理,如果是oil rotary pump進水還能啟動並無卡死,可將油品更換後就可以.如進水太久oil rotary pump會生鏽發生卡死,請送回廠商保養.

    (你 目前狀況 先要注意,oil rotary pump 是否有進水,如有進水oil 會成乳黃色,表是油有進水需更換oil)

    2.由於腔體內部有許多死角包含port,真空管路,螺絲孔,零件夾縫,材料孔隙......等 都有積水的可能,需全面檢查,會有積水的現象.需要拆除零組件將水清除乾淨(陶瓷,塑料...等孔隙較多的零件..最好是烘乾),如果水無法清乾,真空度無法下降,大約抽到一定程度就無法抽得更低,但作壓力上升時,真空值會上升後,保持一定真空值就無法在上升.如果壓力持續上升到達無停止現象 表示腔體有漏,需尋找漏點.

    3.確認設備上 電子裝置 是否 有被水 噴到,如有被 水噴到(最好送回廠商檢修) 請將水除去後,利用自然風乾的方式使其乾燥(需數天)或吹風機使其強制乾燥(需注意溫度),在電子裝置需重新啟動時,請注意安全(會有發生短路及漏電的疑慮).

    並請確認 真空計 是否有進水受汙染,如有受汙染 其真空值,就會不準,請更換.

    4. 以上 三點排除後 ,在腔體第一次抽時,會比較慢達到高真空pump 啟動真空度,如持續使用低真空幫浦抽氣尚無法達到以上高真空幫浦啟動真空值,時請再檢查第一點及第二點.如你能達到高真空幫浦啟動真空值,啟動真空幫浦時,你的真空度是無法馬上達到原先真空值,因為你的腔體已受到冷卻水中的防鏽劑,機油,冷卻劑.....等的污染了.需要 長期低溫烘烤才能回到原本的璃想真空度(依經驗,每日烘烤6HR約需一周以上時間).但須注意腔體內 零件的溫度承受度.

    5.如果執行以上 步驟 尚無法到達你原本的環境,請找有經驗者.幫你檢查.

    PS1: Q:抽真空同時有噴甲醇測試 真空也沒有掉下來的跡象

    A:1.腔體的孔隙 可能被水堵住

    A:2.真空值過高時此一現象不明顯

    A:3.如有洩漏使用 酒精噴灑洩漏處,真空值會在一瞬間回先升再下降.真空值的下降幅度不多不明顯,最主要是觀察瞬間回先升.及壓力上升曲線.

    PS2: Q: chamber內如果有些固體的殘骸

    A: 對真空值影響不大,除非 你的材料容易吸水(如 SI02粉末)

    PS3: 綜合以上結論,CHAMBER嚴重淹水後的真空設備,就是需要 進行大保養了.

    Source(s): 真空設備製造經驗
  • 6 years ago

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  • JON
    Lv 6
    1 decade ago

    水分會停留在Chamber內部表面,如果只是以抽真空來乾燥,抽一個月可能也無法抽到所要真空度.

    建議以80度C乾燥的氮氣先吹乾後再抽空.

    如果chamber 內部不是經過鏡面處理,表面粗造度高,容易駐留水分,造成真空度抽不下來

    Source(s): 常常處理這種事情的經驗
  • 1 decade ago

    測漏不過的現象

    通常是換O_Ring

    裡面如果有不乾淨的物質 也會有影響

    建議你在檢查看看是不是有漏掉的

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