建宏 asked in 科學其他:科學 · 1 decade ago

有關真空壓力計的問題

請問

1.Cnvectron gauge的中文名稱是什麼? 它的工作原理又是如何?

2.Capacitance manometer gauge的中文名稱是什麼? 它的工作原理又是如何?

2 Answers

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  • march
    Lv 7
    1 decade ago
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    Cnvectron gauge 高真空計 原理有很多種

    有熱耦真空計, 離子真空計, 電容真空計, 水銀真空計, 冷陰極真空計等等......

    一般對真空而言有多種的量測單位。

    最常用的的單位有Torr(水銀柱高取公釐長度),milliTorr(俗稱micron),Pascal 和millibar。

    ����在美國Torr被用在粗、高、超真空真空的範圍內。

    ���� pascal的用法通常出現在技術文獻內。

    Capacitance manometer gauge 電容式真空壓力計

    原理 電容式

    ����Pr~10^-7 Torr

    ����壓力差致使電極與薄片間的間距改變, 由電極與薄片間的電容差改變獲得真空室的真空壓力

    ����溫度變化會影響量測壓力精確度

    ����靈敏度很高,適合作為製程用高真空計 如電漿濺鍍, 離子濺射製程

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  • 5 years ago

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