asked in 科學其他:科學 · 1 decade ago

PLD(pulsed laser deposition)問題

PLD(pulsed laser deposition)是蒸鍍

或者是濺鍍呢?

很多書都寫蒸鍍,不過有的書卻用到濺鍍而且還有靶材

還是說PLD可以切換看是要蒸鍍或者是濺鍍?

1 Answer

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  • 1 decade ago
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    pulsed laser deposition 算是蒸鍍的一種, 它是利用pulsed laser瞬間給與靶材(target)足夠的能量使其靶材表面的原子/分子揮發運動到基板,形成薄膜.

    Sputter泛指利用高能量的粒子撞擊靶材使其靶材上的原子或是分子離開靶材後,沉積在基板上形成薄膜.

    我想你遇到的系統應該是它同時擁有PLD跟SD(sputtering deposition)囉

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