阿倫 asked in 科學其他:科學 · 1 decade ago

請問一下真空gauge 的總類及材料有哪些??

請問一下真空gauge 的總類及材料有哪些??

請會的多多幫忙,若有知道原理的也麻煩一下,該給的點數不會少

2 Answers

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  • 榮仔
    Lv 5
    1 decade ago
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    真空量測元件

    要得知真空度狀況,需靠真空計;依真空度範圍,精度需求而有不同真空計

    公司目前所用真空計有下列幾種

    1、派拉尼真空計(pirani gauge):

    目前使用最廣泛粗真空真空計 ,使用範圍760torr(一大氣壓)~5*E-4torr,

    在E-4torr範圍真空誤差約26%

    2、冷陰極離子真空計 ( cold cathode ion gauge):

    目前使用最廣泛高真空真空計之一, 使用範圍E-3torr~E-9torr,

    在E-3torr~5E-4torr範圍真空誤差約26%

    3、熱陰極離子真空計 ( hot cathode ion gauge):

    目前使用最廣泛高真空真空計之一, 使用範圍1*E-3torr~E-10torr,

    缺點:使用壽命短,當有通氧氣時離子加熱燈絲易燒斷

    4、電容薄膜式真空計 (capacitance diaphragm gauge)

    目前使用最精準,線性度最高真空真空計, 使用範圍依需求而不同規格

    常用規格1.torr~1*E-3torr;0.1torr~1*E-4torr

    缺點:價格貴;使用範圍小

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  • 5 years ago

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