晶圓或面板生產完後需要以毛刷清潔，用意何在？

Question

請問一下

如台積電或友達的晶圓或面板

生產完後

都需要以大範圍毛刷來清潔其表面

循問過毛刷的台積電&友達毛刷製作廠商其用意

但毛刷廠商僅知道要刷掉 5um~10um的粉塵

但為何要刷掉這些粉塵的用意為何

請了解的大大們幫忙解答一下 3Q

Answer 1

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目的就是要刷掉Particle,

畢竟晶圓或面板清洗後下一個製程通常是Depo或者Photo,

要是有微小的Particle殘留則是會造成In flim Particle,

到時候就難舊了!

良率也就跟著變差...

不過更細小的Particle可是沒辦法用毛刷刷除喔!

可是得靠Eith才有辦法吃掉的!

Source(s): 自己剛好是面板廠的工程師