良貓 asked in 科學其他:科學 · 1 decade ago

晶圓或面板生產完後需要以毛刷清潔,用意何在?

請問一下

如台積電或友達的晶圓或面板

生產完後

都需要以大範圍毛刷來清潔其表面

循問過毛刷的台積電&友達毛刷製作廠商其用意

但毛刷廠商僅知道要刷掉 5um~10um的粉塵

但為何要刷掉這些粉塵的用意為何

請了解的大大們幫忙解答一下 3Q

1 Answer

Rating
  • Snake
    Lv 6
    1 decade ago
    Favorite Answer

    目的就是要刷掉Particle,

    畢竟晶圓或面板清洗後下一個製程通常是Depo或者Photo,

    要是有微小的Particle殘留則是會造成In flim Particle,

    到時候就難舊了!

    良率也就跟著變差...

    不過更細小的Particle可是沒辦法用毛刷刷除喔!

    可是得靠Eith才有辦法吃掉的!

    Source(s): 自己剛好是面板廠的工程師
Still have questions? Get your answers by asking now.