外國期刊論文搜尋(急!!)

我再找一篇1987年在SPIE上發表的論文,論文的資訊是:

M. Davidson, K. Kaufman, I. Mazor, and F. Cohen, "An Application of Interference Microscopy to Integrated Circuit Inspection and Metrology," Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 775 (1987).

但是我在SPIE的網頁上都搜尋不到這篇文章,

好像是因為網頁上的電子檔是從1990年開始的,

想請問還有什麼辦法可以找到這篇論文呢?

Update:

首先感謝這位大大的熱心

我也有用google查過

但是沒有電子檔可以載的樣子

(如果資料庫有我可以拜託同學幫忙抓)

所以我現在找不到電子檔下載路徑

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