RON asked in 科學工程學 · 1 decade ago

彩色濾光片的total pitch是什麼?

請問彩色濾光片的total pitch是什麼?可以詳細說明嗎?謝謝!

2 Answers

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  • 1 decade ago
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    字面意思

    Pitch是指一段的距離

    Total Pitch就是指所有每一段距離加總

    專業說明:

    Total Pitch 指的就是單方向上光罩設計上兩點之間距離與實際產出基板量測兩點之間距離的差值 .

    Total Pitch >0 表示圖形變大

    Total Pitch <0 表示圖形縮小

    假設光罩圖案

    產出彩色濾光片圖案

    比原本光罩多出的那段距離就是Total Pitch量測結果

    因為彩色濾光片上的圖案是由光罩曝光而來,理論上基板上圖形是要和原本光罩上圖形大小要一樣。

    但因為曝光時環境溫度,造成光罩與基板熱漲冷縮,加上基板與光罩材質不同,膨脹係數就不同,使得圖形大小有所變異。

    另外,因彩色濾光片最終要與TFT貼合,兩邊的圖案大小不能差異太大,因此才要有Total Pitch量測與限制。

    一般規格是限制正負3.5微米

    Source(s): 待過彩色濾光片廠經驗
  • 6 years ago

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