asked in 科學其他:科學 · 1 decade ago

如何解決半導體製程BHF和BOE particle high

請問如何解決半導體製程BHF和BOE particle high

Update:

請問:1.你們filter的規格是那家的,密度又是多少

  2.什麼是SP1+spin dryer

  3.

Update 2:

1.你們filter的規格是那家的,密度又是多少

  2.什麼是SP1+spin dryer

  3.什麼是TENCOR的儀器

1 Answer

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  • 1 decade ago
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    1.常常換酸阿

    2.確認FILTER的狀況

    3.DI水的品質確認

    4.看看有無OVER ETCH狀況

    5.SP1+spin dryer

    你們有TENCOR的儀器嗎

    加油有問題再跟我討論

    因為你的詳細狀況我不懂

    2008-03-18 20:02:20 補充:

    1.0.002um FOR water filter

    2.SP1 唯一種RCA的清洗溶液(氨水+雙氧水+DI)4:4:1

    3.掃PARTICLE的儀器

    Source(s): 自己
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