Anonymous
Anonymous asked in 科學工程學 · 1 decade ago

半導體製程中的edge exclusion是什麼意思

希望能詳述edge exclusion的詳細解釋及在半導體製程中為何要越小越好?

1 Answer

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  • 博仁
    Lv 6
    1 decade ago
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    edge exclusion 就是指邊緣有一些不要(基本上是不能用)的地方

    以 300mm wafer 來說:

    edge exclusion = 3 mm ==> 意即 可用區域的直徑為 294 mm

    edge exclusion = 1 mm ==> 意即 可用區域的直徑為 298 mm

    可用區域越大 ==> 產出越高 ==> 所以半導體製程中希望 edge exclusion 要越小越好

    為什麼有 edge exclusion:

    1 各項製程在邊緣是最不均勻的地方 (有很多原因) 不易控制

    2 wafer 夾持的位置

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