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Boo asked in 科學化學 · 1 decade ago

(急)何謂trace metal?

何謂trace metal?

何謂trace metal?

ps:麻煩請舉例喔~  ︿︿

1 Answer

  • 博仁
    Lv 6
    1 decade ago
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    trace metal => 指微量金屬


    半導體級的矽晶圓 (silicon wafer) 表面必須非常乾淨


    一般輕金屬 (如 Al, Na, Ca ... 等) 要求少於 5e10 - 1e11 atoms/cm^2

    一般重金屬 (如 Fe, Ni, Cr ... 等) 要求少於 1e10 - 5e11 atoms/cm^2

    這些矽晶圓表面的微量金屬即可稱為 trace mteal

    一般可使用 ICP-MS 或 AA 分析

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