無塵室~(潔淨室)

我要做無塵室的報告~可是不知從哪著手~可以麻煩大家幫我~找個主題或者找篇文章~

4 Answers

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  • jeky
    Lv 7
    1 decade ago
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    無塵室介紹半導體工業是極精密的工業,當我們把電腦拆開之後,在電路板上一顆顆小小的IC都有數百萬顆甚至數千萬顆的電晶體。為了讓這些極小的電晶體妥善的工作,製造的過程必須在無塵室內進行,體電路製造的工廠動輒需要數十億、數百億的投資,多因為需要一個無塵室。而所謂的無塵室是一個人造的環境,裡面含有的粒子遠低於一般的環境。在工業上即使尺寸小於1微米,也可能阻礙產品的運作或降低其壽命。隨著微製造技術和積體電路技術的快速成長,也增加了對製造環境(無塵室)潔靜度的需求。也因為半導體關鍵尺寸持續縮小,積體電路積集度不斷的增加,塵粒更容易使晶片失效或可靠度惡劣化。例如當金屬塵粒地落到金屬導線時,就可能會使金屬導線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上,可能將其腐蝕,所以無塵室為積體電路製造不可或缺的要素。 無塵室的條件無塵室是使用一個空間,使空間內塵粒的產生與保留最小化,並且控制其空氣傳播之塵粒的濃度、壓力、溫度及溼度。為了避免空氣由周圍區域進入無塵室,相對於這些區域,無塵室需維持正壓,可以供給許多空氣至無塵室,而抽走較少的空氣來達成。一般而言,無塵室內的溫度控制在23±2℃;相對溼度40%±5%。無塵室的空氣必須由外界供給,經風扇傳輸至風管與各種濾網,到達天花板上方後,在經過高效率濾網,由出風口送出,以有效的去除塵粒。此外,還要使用鏤空的高架地板,以便將塵粒帶離無塵室,避免其滯留或在無塵室內循環,以達到高度的潔淨度要求。 無塵室的分級無塵室的分級以塵粒的密度(單位體積內的塵粒數目)為基礎。依據美國聯邦政府頒布的標準【Federal Standard (FS) 209E, 1992】,可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級 塵粒數/立方英呎級數0.1mm0.2mm0.3mm0.4mm0.5mm1357.531N/A10350753010N/A100N/A750300100N/A1000N/AN/AN/A1000710000N/AN/AN/A1000070100000N/AN/AN/A100000700左表:無塵室清潔度的定義N/A:not applicable無法考慮或無法測量如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述,則可假設塵粒的尺寸為0.5µm,例如,1級、10級、100級無塵室最大塵粒數目分別小於或等於1顆、10顆、100顆,如果塵粒尺寸不是0.5µm,無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如:10級在0.2µm(塵粒尺寸在0.2µm或更大下,密度不大於75顆/立方英呎),1級在0.1µm(塵粒尺寸在0.1µm或更大下,密度不大於35顆/立方英呎)。而積體電路製造所需的無塵室的潔淨度必須優於1000級。 人員穿著規定為保持無塵室的潔淨度,進出的人員有一定的穿著規定。10000與100000級,必須穿著長袍潔淨衣、無塵鞋、帶帽子與面罩。1000級(含)以上,需穿著特殊的潔淨連身衣、無塵鞋將全身裹住,並帶上手套和面罩。回積體電路製程靜音及無油式空氣壓縮機Clean and Quiet Air Compressors, Vacuum Pumps‧ JUN-AIR INTERNATIONAL A/S 潔淨與寧靜的壓力空氣來自JUN-AIR無油式OF系列空壓機 無油式1000系列空壓機 油潤滑超靜音空壓機 無油式真空泵浦系列 空氣壓縮機零配件 可接受特殊用途訂製 

  • 1 decade ago

    台航企業有限公司創立於1992年,成立以來致力於無塵室防靜電產品以及橡、塑膠產品研發供應的專業服務。

    我們主要服務對象為國內外電子高科技產業生產所需之無塵室相關設備及各項產品。

    新竹總公司:新竹縣竹北市光明九路351號 電話:03-6565819 傳真:03-6565823

    台中營業處:台中市南區工學北路63號17樓之3 電話:04-22654903 傳真:04-22655463

    有問題請歡迎來電

    網址:http://www.taihang.com.tw

  • 1 decade ago

    可以再詳述一下題目嗎?

  • lin
    Lv 6
    1 decade ago

    無塵室是經過不斷的換氣及過濾來維持室內潔淨度而過濾空氣當中的Particle就是使用HEPA(高效率過濾網)或ULPA(超高效率過濾網)來達到過濾效果,由上而下的氣流經高架地版部份排出,其餘回到HEPA或ULPA繼續做循環(有些無塵室沒有裝高架地板就由柱邊或牆邊開孔引入回風道循環),同時再由外氣空調箱注入新鮮的空氣,以達到換氣及維持無塵室靜壓的條件進入無塵室必須先換穿無塵衣後再進入Air Shower(氣浴機)吹洗,Air Shower只能去除較大的Particle,所以無塵衣本身的潔淨度與人員的習慣都是管理的重點

    2006-03-09 10:38:03 補充:

    給您參考!

    2006-03-09 10:41:23 補充:

    http://www2.nsysu.edu.tw/IEE/lou/elec/web/pollute/...

    Source(s): 奇摩知識+
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