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鎧齊 asked in 科學化學 · 2 decades ago

請問化學氣相沉積(CVD)跟物理氣相沉積(PVD)是什麼??

請問這2個是什麼呀??

因為課堂上需要解釋 但是找不到是什麼意思

請各位幫我解說一下 謝謝

2 Answers

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  • 2 decades ago
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    PVD顧名思義是以物理機制來進行薄膜湚積而不涉及化學反應的製程技術,所謂物理機制是物質的相變化現象,如蒸鍍(Evaporation),蒸鍍源由固態轉化為氣態濺鍍(Sputtering),蒸鍍源則由氣態轉化為電漿態。

    CVD是將反應源以氣體形式通入反應腔中,經由氧化,還原或與基板反應之方式進行化學反應,其生成物藉內擴散作用而沈積基板表面上。

    以上是名詞解釋

    想要更詳細的了解可以去看參考 資料

  • ?
    Lv 6
    2 decades ago

    CVD是利用反應物的氣體分子,在受熱或是高能光線等外力作用下,分解成我們需要的物質,然後沉積在某個物體的表面

    PVD則是利用物質受熱之後,轉變成氣體分子,然後沉積在某個物體的表面

    兩者最大的差異是在

    CVD的作用物質會有化學反應

    而PVD則沒有化學反應

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