黃金瞄子手 asked in 科學工程學 · 2 decades ago

半導體的HEPA

請問HEPA(Hight Efficency Particulate Air)是什麼意思??這是有關半導體的!!!

2 Answers

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  • Anonymous
    2 decades ago
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    HEPA應該指的是High efficiency particulateair filter是"高效率微粒空氣過濾器"的簡稱,為無塵室中用以濾去微粒子的裝置。一般為玻璃纖維所製成,像是烤箱,旋轉機,為了達到控制微粒的目的,都會裝置了HEPA。 因為無塵室對於室內的環境品質所必須控制的主要三個參數分別為溫度、溼度與粒子位準(particle level)。溫度與溼度可以由空調設備的型式、數量和設置位置來控制。微粒部分則必須由高效率微粒空氣過濾器(high efficiency particulate air filter,HEPA)加以控制, 所以會使用到HEPA下面這個網址還有更詳細的說明及概要圖,你可以參考看看http://www2.nsysu.edu.tw/IEE/lou/elec/web/pollute/...

  • Anonymous
    2 decades ago

    這是無塵室用的空氣潔淨技術的過濾效率級別

    在無塵室使用的淨化空調機組中末端最常見到這些過濾器, 但不一定只有半導體廠會使用在對空氣潔淨度有要求的行業也會用, 比如醫院的十萬級以上手術室,百級白血病房也會用,還有微生物實驗室, GMP藥廠也都會用到

    真正在等級上分為 初效,中效,亞高效,高效,超高效過濾 五個層級

    可過率 >5uM~0.1uM幾乎所有塵埃粒子

    以HEPA為例是屬於高效過濾等級 過濾效率在>0.3uM時應優於99.97%

    一般HEPA不會單獨存在於系統中, 以無塵室淨化空調機組至少就會用到三級過濾

    如 初效,中效,高效(百級以下等級), 或者 初效,亞高效,超高效(百級以上等級), 至於室內的設備一般也至少用到兩級過濾, 如生物實驗室中的生物安全櫃, 主要目的在於前級保護後級, 使HEPA或UEPA過濾器使用壽命長

    像一般家庭用的空調機就只裝一個初效過濾網而已

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